電機工程學系｜馬誠佑
1.Wafer Growth
2.Cleaning
3.Thermal Process (Oxidation)
4.Lithography
5.Plasma Fundamentals
6.Ion Implantation
7.Etching
8.Chemical Vapor Deposition
9.Metallization
10.Chemical-Mechationanical Planarization
11.Process Integration

使學生瞭解到積體電路的製程技術與發展

本課程共86講：